一、潔凈室原理　　

(一) 潔凈室的定義　　

       潔凈室是指空氣潔凈度達到規定級別的可供人活動的空間。其功能是控制微粒（塵埃粒子）的污染。來達到滿足精密產品的生產與科學實驗活動。合景凈化工程公司認為，潔凈室絕不是僅限于"潔凈"，不同的行業與部門對溫度、溫度、照明、噪聲、靜電、微振都有相當要求的多功能的綜合整體，是集建筑裝飾（與大氣相對隔斷的密閉裝修）、凈化空調、純水、純氣、動力電、照明電、工藝管道等多種專業技術于一體的產物，潔凈室（或潔凈廠房）

電子潔凈廠房

(二) 潔凈室的分類實現層流的最低風速值

2.1按用途分類(可分為兩大類)　

       ①工業潔凈室-以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。　

       ②生物潔凈室：以控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為：　

       A.一般生物潔凈室，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保持正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業潔凈室。

       B.生物學安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。　　　

2.2按氣流分類(按氣流可分為四類)　　

       ①.單向流潔凈室（層流、活塞流）　　

       ②.亂流凈室　　

       ③.輻射流（斜流）潔凈室　　

       ④.混合流潔凈室（亂流、層流同在）　

(三) 單向流(層流)潔凈室(又稱垂直流，平行流)　　

       (1) 既氣流以均勻的截面速度，沿著平行流線以單一方向在整個室天花截面下通過的潔凈室。單向流潔凈室靠送風氣流“活塞”般的擠壓作用。迅速把室內污染排回風道。　

       (2) 要想實現"活塞流"的作用，最重要的是高效過濾器必須滿布。但是由于高效過濾器有邊框，放置高鏟過濾器也要有支架，不可能百分之百的滿布。所以我國《潔凈廠房設計規范》規定，垂直流潔凈室滿布比不應小于60%，水平單向流潔凈室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

半導體潔凈室

(四) 亂流潔凈室的原理和特性　　

       1、定義：亂流潔凈室的定義是氣流以不均勻的速度是不平行流動，伴有回流或渦流的潔凈室。　　

       2、原理：亂流潔凈室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，把室內污染逐漸排出，來實殃潔凈的（亂流潔凈室一般設計在千級以上至30萬級凈化級別）。

       3、特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來實現潔凈級別。換氣次數決定定義無反顧的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）　　

(五)潔凈室的新風要求　　

       按《潔凈廠房設計規范》規定，亂流潔凈室新風量應不小于總風量的10%-30%；單向流潔凈室，新風量應不小于總風量的2%-4%，當然也可以根據潔凈室的具體功能而定。

二 空氣潔凈度等級

       空氣潔凈度是潔凈環境中空氣含懸浮粒子量的多少的程度，通常空氣中含塵濃度高則空氣潔凈度低，含塵濃度低則潔凈度高。空氣潔凈度的高低可以用空氣潔凈度等級來區分。空氣潔凈度級別則以每立方米空氣中的允許微粒數來確定。

       潔凈室（區）是指空氣懸浮粒子濃度、含菌濃度受控的房間（限定的空間），房間（空間）的建造和使用方式要盡可能減少室內引入、產生和滯留粒子等，房間（空間）內其它相關參數如溫度、相對濕度和壓力按要求進行控制。

潔凈室系統圖

凈化工程垂直單向流潔凈室的標準

       在水平流系統中,氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統中,氣流是從吊頂流向地面。對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合,就使用單向氣流。

       單向流潔凈室一般有兩種類型，即水平流和垂直流。在水平流系統中，氣流是從一面墻流向另一面墻。在垂直流系統中，氣流是從吊頂流向地面。

       對要求潔凈室的懸浮粒子濃度或微生物濃度更低的場合，就使用單向氣流。以前稱這類潔凈室為“層流”潔凈室。單向流和層流的名稱均說明了其氣流的狀況：氣流以一個方向流動（或是垂直的或是水平的），并以一般是0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的均速流過整個空間。

10萬級無塵車間

       凈化工程由滿布潔凈室吊頂的高效過濾器向室內送風。氣流有如一個空氣活塞，向下流經室內，帶走污染物，然后從地面排出。又在與外部的一些新鮮空氣混合后，再循環至高效過濾器。

       人員和工藝所產生的懸浮污染可立即被這種空氣清除掉，而紊流通風系統采用的是混合與稀釋原理。

       在一間沒有任何障礙物的空房間，單向流用比前面提到的低得多的風速，就可以很快將污染物清除。但在一個操作間，機器以及機器周圍走動的人員，會對氣流形成障礙。

       障礙物可以使單向流變成紊流，從而在障礙物周圍形成氣流團。人員的活動也可以使單向流變成紊流。在這些紊流中，由于風速較低，空氣稀釋程度較小，從而使得污染濃度較高。

       因此，必須將風速保持在0.3米/秒至0.5米/秒（60英尺/分鐘至100英尺/分鐘）的范圍里，以便使中斷的單向流能快速恢復，充分稀釋障礙物周圍紊流區的污染。

       用風速可以正確地表示出單向流，因為風速越高室內就越潔凈。而每小時換氣次數與房間的體積有關，如吊頂的高低，因此不適合用來表示單向流。

不同行業的潔凈室

       單向流室內的送風量是紊流室的很多倍（10到100倍）。所以這樣的潔凈室的建造和運行費用要高得多。

不同類型潔凈室原理整理：

1.單向流（層流）潔凈室原理

       在潔凈室內，從送風口到回風口，氣流流經途中的斷面幾乎沒有什么變化，加上進風靜壓箱和高效過濾器的均勻流作用，全室斷面上的流速比較均勻，而至少在工作區內流線單向平行，沒有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點。這里的流線單向平行，是指流線彼此平行，方向單一。

       在單向流潔凈室內，干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿全室斷面，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內臟空氣的摻混稀釋作用，而是靠潔凈氣流的推出作用將室內臟空氣沿整個斷面排至室外，達到凈化室內空氣的目的。所以前聯邦德國有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”，前蘇聯稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個空氣活塞，沿著房間這個“汽缸”，向前（下）推進，而使塵粒只能前（下）進，沒有返回，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。

       在單向流潔凈室及單向流凈化設備中，可以發現隱蔽的和兩個過濾器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的污染物傳輸到上部再送下來，破壞了上述“活塞流”的狀態，危害極大。對于和外界有開口相通的局部凈化設備，如潔凈工作臺，這種氣流將影響外界污染氣流，在設計上一定要減小過濾器邊框處所占的無效 面積，更要設法使空間的壁面盡量接近過濾器有效送風截面。

       通過以上分析，可以認為保證單向流潔凈室特性（高潔凈度和快速自凈恢復能力）的先決條件有兩個：①來流的潔凈度；②來流的活塞流情況。

       對于來流的潔凈度，對通過高效以上過濾器送風你的單向流潔凈室來說是不成問題的，而對于來流的“活塞流”情況，則需做進一步分析。

       根據來流體力學原理，來流條件對優化的流動狀況將產生直接影響，送風面出口氣流也就是工作區的來流。

       來流的紊動性大，則將影響后面的單向流特性；來流末充滿流動截面，則將影響是否能形成“活塞流”和形成的快慢；而來流末充滿流動截面也是來流紊動的一個因素。所以，在采用高效過濾器的條件下，保證單向流潔凈室特性的必要條件是“活塞流”，而“活塞流”的必要條件則是來流充滿流動截面。但是，對一間房間而不是一段管道來說，讓氣流從頭至尾完全充滿流動截面也是不現實的。

       最初，確實認為這種單向平行的氣流應該充滿整個潔凈室，但這在技術上和經濟上都是不利的。隨著認識的發展，人們又指出這種單向流只是“在有限的領域內全部空氣沿平行流線以勻速流動的意思”，并認為能極力抑制渦流的發生。全空間的清潔空氣的單向流特性占支配地位房間，也稱為單向流潔凈室。這就是說不要求在整個房間都具有單向平行的流線，均勻的速度，沒有渦流，而是只要求單向平行流特性在這個房間中占支配地位。在整個工作區這一層空間保證了單向流，這個房間就是單向流潔凈室。

一般潔凈室效果圖

2.亂流潔凈室原理

       潔凈室按其氣流狀態來區分，主要分為亂流（非單向流）潔凈室、單向流潔凈室和輻流潔凈室（也稱矢流潔凈室）。

       亂流潔凈室的名稱是借用于日文，現在國際上則習慣稱這種潔凈室為非單向流潔凈室。

       所謂亂流潔凈室，一般包括以下各種送風形式：

       （1）高效過濾器頂送（有擴散板和無擴散板）；

       （2）流線型散流器頂進；

       （3）局部孔板頂送；

       （4）側送：具有這種送風形式的潔凈室，如以雷諾數（指在流體運動中慣性力對黏滯力比值的無量鋼數Re=UL/ν。其中U為速度特征尺度,L為長度特征尺度，V為運動學黏性系數）判斷，顯然屬于紊流流態，但是如果把它們稱為紊流潔凈室就不合適。氣流沿整個頂棚下送，室內氣流速度達到0.25m/s以上，這種室內的流動狀態也是紊流，但在后面就會搞清楚，雖然這兩種送風方式都造成室內紊流流態，但是就其凈化室內空氣的原理來說，卻是根本不同的，后者屬于單向流或平行流潔凈室的凈化原理。所以如果把前者稱為紊流潔凈室，則后者也應被包含進去了。

       亂流潔凈室的主要特點是從來流到出流（從送風口到回風口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區截面形成勻速氣流。所以，送風口以后的流線彼此有很大或者越來越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動，將會彼此撞擊，將有回流、旋渦產生。這就決定亂流潔凈室的流態實質是突變流，非均勻流。

       這比用紊流來描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要取決于雷諾數，也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個高效過濾器頂送的送風形式，則即使流速極底，也要產生上述各種結果，這就因為它是一個突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發生的摻混，而且還有全室范圍內的大的回流、旋渦所發生的摻混。

       亂流潔凈室的作用原理是：當一股干凈氣流從送風口送入室內時，迅速向四周擴散、混合，同時把差不多同樣數量的氣流從回風口排走，這股干凈氣流稀釋著室內污染的空氣，把原來含塵濃度很高的室內空氣沖淡了，直至達到平衡。所以氣流擴散得越快，越均勻，稀釋的效果就越好，因此亂流潔凈室的原理就是稀釋作用。